超纯水*初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。目前，制备超纯水的方法通常采用反渗透，去离子或电去离子(EDI)等工艺。
化工行业高纯水设备，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
化工行业高纯水设备主要应用于电池行溶剂用水、化学分析、化工材料、产品清洗、物质的分离、浓缩、提纯，废物回收等场合，对于水质要求相对来说不是太高，纯水电导率从0.1uS/cm-20uS/cm就基本上能满足要求。化学化工高纯水设备采用反渗透，离子交换，EDI等超纯水生产工艺的不同组合，生产出即经济实用，又能满足客户要求的超纯水处理设备。
化工行业高纯水设备主要应用领域：纺织印染造纸用水；化学试剂生产用水；精细化学药剂生产用水；日用化妆品生产用水；化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程；超纯材料和超纯化学试剂；
电子行业超纯水设备主要应用于：半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；多硅晶超纯水、太阳能行业超纯水设备、电镀工业超纯水；多晶硅超纯水、单晶硅超纯水、太阳能超纯水；光电超纯水；LCD液晶显示器用超纯水。
1）采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2）采用反渗透加离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器（阻垢剂）→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
电子行业超纯水、化工超纯水相关水质标准
电子超纯水国家规格GB/T1146.1-1997
级别 EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
电阻率
MΩ·cm（25℃） 18
(95%时间)
不低于17 15
(95%时间)
不低于13 12.0 0.5
全硅 *大值ug/L 2 10 50 1000
>1um微粒数，*大值 个/ml 0.1 5 10 500
细菌数，*大值，个/mL 0.01 0.1 10 100
铜，*大值 ug/L 0.2 1 2 500
锌，*大值 ug/L 0.2 1 2 500
镍，*大值 ug/L 0.1 1 2 500
钠，*大值 ug/L 0.5 2 5 1000
钾，*大值 ug/L 0.5 2 5 500
氯，*大值 ug/L 1 1 10 1000
硝酸根，*大值 ug/L 1 1 10 500
磷酸根，*大值 ug/L 1 1 10 500
硫酸根，*大值 ug/L 1 1 10 500
总有机碳，*大值 ug/L 20 100 200 1000