一种用于再生离子交换剂的电渗析设备，更特别地讲，涉及这样一种用于再生这样离子交换剂的方法与设备：该方法与设备在用来处理一块片基(譬如一块半导体晶片)表面的导电材料或者除去附着在该片基表面的杂质的电解处理中，能够用电化学方法除去该电解过程中使用的离子交换剂内所吸收的金属或其他离子，从而再生该离子交换剂。各类离子交换膜可用于反渗透和超过滤等分离方法中，例如它们在海水脱盐和碱化水及工业废液的净化中得到了广泛的应用。离子交换膜在工业上，例如在果汁和药品等的溶液的浓缩中也得到许多应用。电渗析设备对于水压法基本上是不渗透的而对于溶解的阳离子或阴离子，或者对两者都是可渗透的，在燃料电池、使电解质电解的电解槽和电合成的电化槽中发现日益增长的应用。在安装有生氢阴极并且用在盐水电解的电解池中，通过彼此紧密接触地设置阳 极、离子交换膜和生氢阴极，以降低电池电压。但是，在大规模电解池中，其中阳极和阴极由 刚性材料制成，电解面积达到几平方米，通过将两个电极紧密接触在离子交换膜上，几乎不 能将电极间距离保持在规定值。弹性元件包括：由金属线制成的编织物和织物；或通过堆叠织物而制备的结构； 或者通过三维编制织物，然后进行卷曲处理而制备的结构；以及由金属纤维制成的非织物； 线圈跳簧（弹簧）；和片簧。各类设备中的部件近来都变得更加精细，并要求更高的精度。随着亚微制造技术的普遍使用，材料的性质受到处理方法的极大影响。在这些情况下，在这种利用工具、采用物理方法来从工件的表面毁坏并除去它的希望部分的传统制造方法中，可能产生大量使该工件性质恶化的缺陷。所以，进行不引起材料性质恶化的处理就变得非常重要。电渗析设备将液体供应到该隔板与该再生电极之间，而且也将液体供应到该隔板与该反电极之间；以及其中该隔板当该要被再生的离子交换剂为阳离子交换剂时是一种阳离子交换剂，而当该要被再生的离子交换剂为阴离子交换剂时则是一种阴离子交换剂。