随着我国半导体事业的迅速发展,特别是近年来大规模集成电路的出现,一般的去离子水因存在着较大的颗粒和悬浮生物而不能满足工艺需要,提出了制备超纯水的要求。通过电渗析设备来制取超纯水,让水质有了更大提高,MOS大规模集成电路的成品率也有了显著的提高。因为经过电渗析法处理过的超纯净水,其中的尘埃粒子不超过10个,足以满足生产标准的要求，而且生产工艺简单，成本较低，是生产大规模集成电路的*。