阐述了微电子工业芯片制造而产生的含氟废水、硅片研磨废水以及纯水处理高纯水设备再生所产生的高浓度酸碱废水的处理方法,特别对含氟废水的处理作了大胆的尝试,取得了明显的成效.对高纯水设备处理后的合格废水回收用作工艺设备及动力设备的冷却水,利用高纯水设备产生了良好的经济效益和社会效益.