主要就应用于电子产品生产过程所需纯净水生产的水处理工艺,论述基于“HMI-PLC-VFD”的自动控制系统的高纯水设备设计方法,并提出了柔性控制的程序设计方案.文章主要包括引言,工艺概述、控制系统设计以及控制策略优化等内容,从工程应用的角度,给出了高纯水设备实用的解决方案.