理论分析了纯水电导率与离子含量的关系 ,结合高纯水设备再生冲洗电导率的变化趋势 ,确定了以电导率为指标的高纯水设备再生冲洗终点的控制值。以电导率控制冲洗终点效果良好 ,比 pH控制更准确、灵敏。同时还分析了终点控制不准确 ,可能造成氯化钠污染树脂的情况