根据RO-混床高纯水设备的*新工艺,讨论了其控制系统的集成方案和构架,采用分布式I/O和S7-400H集中监控的方式进行了控制系统设计,在此基础上选择了基于S7-400H的硬件冗余方式进行系统的冗余设计;采用设备层、控制层、及基于西门子组态软件WinCC的监控管理层的典型的三层网络控制系统,且通过OPC方式将高纯水设备控制系统组态到整个工厂的控制系统中,成为整个工厂控制系统的一个子系统,方便企业级管理。并给出了控制系统的硬件设计、软件编程以及基于Intouch组态软件的上位监控系统。经过4年的实际运行,该高纯水设备自动化系统工作稳定可靠,完全满足要求。