本文研究了采用高纯水设备制备纯化水的原理、设备构成、日常操作、分析和优化了高纯水设备制水的运行条件,并简要研究了在水系统验证中若干相关问题。作为一种*的纯化水制备工艺,与传统的离子交换法(DI)相比,高纯水设备具有易于操作、维护方便、产水水质好、自动化程度高、运行费用低等优点,且该系统无须进行化学再生和加盐操作。在*佳条件下,可以生产出电阻率达17-18 MΩ·cm高标准的纯化水。在水系统验证中,着重研究了安装确认、运行确认、性能确认等有关内容,以确保能够得到可靠的验证数据来保证水系统的正常运行和产水质量符合要求。