高纯水设备作为一种水处理技术在各种领域已有10余年的商业运行经验，它是一种利用电能对水质进行净化处理的技术。
高纯水设备膜堆中各膜对为板框式组装，每个膜对由精选的离子交换膜（一张阳膜、一张阴膜）及允许水流通过和促进水流在流道中湍流的隔栅组成。另外，交错的膜对间填充满象混合离子交换树脂之类的离子化导电物质。膜对中对进水起纯化作用的单元称为淡水室，起聚集离子作用的单元称为浓水室。多个膜对构成一个膜堆，膜堆设计为水平放置，在膜堆的两侧安装有一副电极（阳极及阴极），整个的组件通常称为一个高纯水设备膜堆。
在直流电场的作用下，离子从淡水室中选择性地透过离子膜进入到浓水室中，*后在淡水室中制出除盐的产品水。浓水室中的废水可以回收至水处理系统的前端或回收至其它设备中使用，小流量的极水可以同设备的废水一样进行排放处理。
高纯水设备*适合于应用在经RO脱盐后的水质精处理阶段。高纯水设备设备无需化学药剂的再生，可以连续运行。在具体的应用中，仅调节高纯水设备的运行电流就可以改变其出水水质。在进水电导率为50μs/cm或更低的条件下，高纯水设备可制出5－18 MΩ•CM的产品水。
一些供应商现在已经为各个行业包括实验室、蒸汽站、制药及半导体在内的厂家生产和销售高纯水设备系统以制取高纯水，高纯水设备产业应用的焦点集中在中到大型出力纯水制备的使用上，在这些应用中，高纯水设备可带来环境、*及运行方面的显著效益，它作为RO出水的纯化装置技术上合理、综合经济投资上可完全替代混合床离子交换技术。由于高纯水设备为膜堆式设计，属于非化学式的水处理系统，它无需酸、碱的贮存、处理及无废水的排放，因而它对很多用户具有特别的吸引力。采用高纯水设备对旧系统进行改造也是非常经济的，因为高纯水设备可完全地利用现有的厂房及辅助设施。