传统的去离子水设备主要采用阴阳离子交换脱盐工艺，本处理工艺手段单一，流程简单，造价相对较低；但其缺点也相当突出：运行操作复杂，人力成本高，不容易实现自动化，浪费酸碱，运行成本高等缺点。
近年来，随着RO反渗透、高纯水设备等工艺的发展，高纯水设备在去离子水设备中的应用得到广泛的推广，目前去离子水设备工艺逐渐主流采用RO+高纯水设备+精混处理，可以稳定制取高纯水质。
去离子水设备主体工艺：原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级RO反渗透→PH值调节→中间水箱→二级高压泵→二级RO反渗透→纯水水箱→高纯水设备水泵→高纯水设备系统→抛光混床→微孔过滤器→用水点→回至纯水水箱
去离子水设备的应用领域：
☆电路板的生产和清洗
☆超纯材料和超纯试剂的生产和清洗
☆半导体电子产品的生产和清洗
☆电池产品的生产
☆特殊行业高、精、尖产品的生产和清洗
☆制药行业诊断试剂等产品的生产