研究了电压、pH、流量等因素对高纯水设备去除纯水中硅的影响,探讨了高纯水设备对纯水中硅的去除机理,并对传统工艺与高纯水设备的除硅效果进行了对比.实验结果表明:在pH、流量等因素不变的情况下,电压的增加有利于高纯水设备对硅的脱除;在电压、流量等因素不变的情况下,高纯水设备对硅的脱除率随着pH的增加先增加,然后有所下降;在电压、pH等因素不变的情况下,流量的增加不利于高纯水设备对硅的脱除.