从出水水质和运行参数控制两方面,对高纯水设备模块受化学污染情况进行了试验研究。结果表明,根据产水电导率的变化可判断出高纯水设备模块的结垢初始点,且化学污染主要发生在阳离子树脂上;为有效控制化学污染,应选择适当的进水流量和操作电流(以产水电导率0.2μS/cm为控制指标,该试验装置的*佳流量和电流分别为162 L/h和2 A)。另外,通过正交试验确定了高纯水设备模块的*优清洗方案,即用2%的HCl清洗30 min,并浸泡2 h。