在简要介绍高纯水设备(EDI)的基本原理及其应用的基础上,提出了膜堆结垢是高纯水设备使用过程中的主要问题,分析了膜堆结垢的原因及其预防措施,认为有效防止膜堆结垢的关键因素:控制高纯水设备的进水硬度、CO2浓度等合理的预处理工艺;通过极水室和浓水室中填充离子交换树脂降低膜堆电阻的结构设计.