针对上海地区的高纯水设备在冬、春季出现TOC超标的问题,通过水质分析和检测仪器的诊断,推断原水中二乙基氨基化合物、尿素等有机物含量高,是导致高纯水系统的TOC出现季节性波动的主要原因。而现有UPW系统中的活性炭吸附、反渗透(RO)、低压紫外线氧化等工艺对这些小分子有机物去除效果并不理想。在RO后增设臭氧/NaBr的高级氧化单元,利用生成的次溴酸钠来分解这些低分子有机物,可以有效地控制UPW产品水的TOC出现季节性波动。