以超滤（ＵＦ）替代原有的预处理工艺，解决了高纯水设备，尤其是含有反渗透（ＲＯ）的高纯水设备预处理难的问题。试验结果表明，超滤（ＵＦ）可把原水的污染指数（ＳＤＩ或ＦＩ）由８～１０降至接近于零，超滤对全氧氧化物、胶体、有机物、菌类都有较强的去除能力，可完全满足高纯水设备对预处理水质的要求。本文重点讨论了超滤（ＵＦ）作为高纯水设备的预处理工艺系统；超滤（ＵＦ）对水中杂质的分高性能及操作条件；膜通量的衰减规律及恢复。