正通常采用电阻率、粒子大小和细菌数目来衡量高纯水的纯度。目前主要以电阻率为标准,它的单位以兆欧 厘米来表示。水在25℃时的*高电阻率为18.3兆欧 厘米。水质的好坏与电阻率的高低成正比。 按电阻率高低,可将纯水分为四类: (1)软化水:硬度为0.1～5 之间; (2)脱盐水:25℃时电阻率为0..1～1兆欧 厘米; (3)纯水:25℃时水的电阻率为1～10兆欧 厘米; (4)高纯水:25℃时水的电阻率为10兆欧 厘米以上。 由于用途不同而对水的质量的要求也不同。如,对于集成电路的生产用水,其要求是:电阻率为18～19兆欧 厘米,粒子尺寸0.45微米,细菌数为0～10个/毫升。