正多晶硅的生产工序复杂,在多晶硅生产中,高纯水主要是用来清洗产品的,几乎每道工序都要使用高纯水,这样产品与水直接接触,使得加工过程中产生的微量污染得以洗净,所以,高纯水品质的好坏将对多晶硅质量起到重要影响。在此生产过程中,如果高纯水中含有微量杂质就有可能使产品再次受到污染,使成品率下降,由此看来,高品质的纯水对多晶硅生产就显得尤为重要。