高纯水设备的运行通常只以电阻率来进行水质监控。这种制备方法需要若干步骤。以本地用水为纯化水源时,须在*终精制之前对其进行预处理。纯化的初始步骤包括DI(去离子技术)或者RO(反渗透)/EDI(连续电流去离子技术)联用。尽管通过这两种技术都能获得电阻率较高的高纯水,但是当更能精确地监控高纯水质量的T O C(有机碳总量)也被列入考查指标的时候,不同制备技术得到的高纯水之间水质的差异就明显了。由于T O C偏高,选用去去离子技术(D I)进行预处理需要更加严谨的维护和操作。而且,树脂再生之后使用,容易导致有机物脱落进入离子交换精制介质甚至后面的过滤器,进而影响、削弱整个系统的效率、可靠性和使用寿命。