此类设备通常由多介质过滤器、活性碳过滤器、钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统，以及RO反渗透主机系统、EDI电除盐系统或混合离子交换器等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了自动化运行，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的设备可靠性和性价比，所以高纯水的水质对于电子产品的品质来讲起着决定性地作用，水质不好直接影响到产品的品质问题。