1、采用离子交换树脂制备高纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床(复床)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
2、采用反渗透水处理设备与
离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床(复床)→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取
高纯水的*新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子(EDI)→超纯水箱→超纯水泵→抛光混床-紫外线杀菌器-终端精密过滤器→用水点。