高纯水是一种无色、无味的液体，水中的电解质已被除去至很低程度，其中不溶解的胶体物质与微生物微粒、溶解气体、有机物等几乎已被完全除去。本文介绍的高纯水采用二级反渗透+EDI电除盐法制取高纯水。
反渗透(RO)系统的原理：水通过一种半透膜进入一种溶液或从浓度低的溶液向浓度高的溶液的自然流动称为渗透。能够对水或溶液具有选择性的膜称为半透膜。如果在浓溶液一边加上适当的压力则可使渗透停止,当稀溶液向浓溶液的渗透停止时的压力称为溶液的渗透压。反渗透则是在浓溶液一边加上比自然渗透压更高的压力，扭转自然渗透的方向，把溶液中水压到半透膜的另一边，这和自然界正常渗透过程是相反的，故称为反渗透，这种反渗透的装置称为反渗透装置。
EDI的工作原理：供给水进入EDI系统，主要部分流入树脂/膜内部，另一部分沿膜板外流动，以洗去透出膜外的离子，树脂截留水中的溶存离子，被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动，阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外，阴离子透过阴离子膜，排出树脂 /膜之外，浓缩了的离子从废水流路中排出，无离子水从树脂/膜内流出。
高纯水系统的工艺流程：
进水气动阀-→原水箱-→原水泵(反洗泵)-→石英砂过滤器-→活性炭过滤器-→精密过滤器-→一级高压泵-→一级反渗透系统(RO系统)-→淡水箱1-淡水泵-→二级高压泵-→二级反渗透系统(RO系统)-→淡水箱2-→EDI水泵-→EDI模块-→高纯水箱。
高纯水设备各组成部分的用途：1、石英砂过滤器：降低浊度，提高澄清度。2、活性炭：吸附余氯，除去有机物、油脂、胶体和悬浮物，使进水达到指标，余氯含量≤0.1mg/L。3、精密过滤器：进一步去除水中的悬浮物颗粒、细菌及其它杂质。4、RO膜：脱去水中的无机盐和细菌。5、EDI：更进一步脱去水中的无机盐和细菌。