高纯水设备一般采取EDI工艺加上反渗透的原理制取超纯水，所制超纯水用于微电子工业，半导体工高纯水设备，作为制取超纯水的设备，作为反渗透设备后的二次除盐设备，可以制取出高达10-18.2MΩ.CM。因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、发电厂的锅炉的补给水，以及业，发电工业，制药行业和实验室。高纯水设备的EDI工艺系统选用通过一次反渗透除盐后的水作为进水，再通过EDI模块内离子交换树脂进行二次除盐，这样可以使纯水制作进程接连化，它代替了传统DI混合树脂床制作去离子水的办法，防止运用酸碱再生；大量削减酸碱本钱投入的一起也可以有用防止环境污染。经活性碳过滤后的水再进入R.O反渗透过装置。采用离子交换方式，其流程如下：